Ruang bersih mikroelektronika adalah lingkungan produksi khusus untuk memastikan kualitas dan efisiensi produk dalam industri mikroelektronika. Untuk proyek ini ada banyak faktor yang dipertimbangkan seperti pemurnian udara, suhu, kelembaban, elektrostatik, dan pengendalian kebisingan dan sebagainya.
Berbagai kelas industri aplikasi ruang bersih mikroelektronika:
1.Manufaktur sirkuit terpadu
- ISO 1 - 3: sering digunakan dalam proses fotoetsa, etsa, dan lainnya yang paling canggih, yang memerlukan kontrol partikel kecil yang sangat tinggi, dan sedikit kontaminasi dapat menyebabkan cacat chip.
- ISO 4 - 5: Cocok untuk deposisi film tipis, implantasi ion, dan proses lain dalam pembuatan chip, dan juga memiliki persyaratan kontrol partikel yang ketat.
2.Uji enkapsulasi semikonduktor
- ISO 6 - 7: Dapat memenuhi persyaratan sebagian besar tautan pengujian pengemasan, seperti pengemasan chip, pengujian fungsional, dll.
3. Pembuatan tampilan panel
- ISO 5 - 6: Digunakan dalam pelapisan dan pemaparan pada pembuatan panel LCD.
4. Pembuatan komponen elektronik
- ISO 7 - 8: digunakan untuk produksi komponen elektronik dengan persyaratan lingkungan yang relatif rendah, seperti resistor, kapasitor, dll.
Singkatnya, semakin tinggi kelas ruang bersih, semakin sedikit jumlah partikel tersuspensi di udara yang dapat dikontrol, semakin murni lingkungan, dan semakin cocok untuk proses produksi mikroelektronik yang memerlukan lingkungan produksi yang sangat ketat. Namun, cleanroom kelas bawah cocok untuk proses produksi yang membutuhkan lingkungan yang relatif longgar.
Perangkat utama sistem pemurnian udara ruang bersih mikroelektronik:
1. Saringan udara
- Filter efisiensi primer: terutama digunakan untuk menyaring partikel yang lebih besar, seperti debu, rambut, dll., untuk memainkan peran awal dalam memurnikan udara.
- Filter efisiensi sedang: menyaring polutan partikulat berukuran sedang dan semakin meningkatkan kebersihan udara.
- Filter HEPA: perangkat utama untuk mencapai kebersihan tinggi dengan efisiensi filtrasi tinggi untuk partikel di atas 0,3 mikron
- Filter efisiensi ultra-tinggi (filter ULPA): untuk partikel berukuran 0.1 - 0,3 mikron, efisiensi filtrasinya bisa di atas 99,999%, dan sering digunakan di tempat dengan persyaratan kebersihan yang sangat tinggi.
2.Penggemar
- Bertanggung jawab untuk menggerakkan aliran udara, membuat udara melewati filter dan bersirkulasi di ruang bersih.
3. Saluran
-digunakan untuk mengalirkan udara yang disaring untuk memastikan distribusi udara yang seragam ke seluruh area ruang bersih.
4. Unit penanganan udara segar
- mengenalkan udara segar di luar, menyaringnya, dan menyesuaikan suhu dan kelembapan untuk memenuhi kebutuhan ruang bersih.
5. Unit pemurnian udara
-Mengintegrasikan berbagai fungsi pemurnian dan pengkondisian, seperti filtrasi, sterilisasi, dehumidifikasi, pelembapan dan sebagainya.
6. Ruang tekanan statis
-menstabilkan aliran udara, mengurangi turbulensi dan kebisingan aliran udara, dan memastikan aliran udara seragam melalui filter.
7. Peredam suara
- Mengurangi kebisingan yang dihasilkan oleh kipas dan aliran udara, menyediakan lingkungan kerja yang tenang
8. Sensor dan pengontrol tekanan diferensial
- Pantau perbedaan tekanan antara area berbeda di ruang bersih untuk memastikan bahwa udara mengalir ke arah yang telah ditentukan untuk mencegah kontaminasi silang kontaminan.
Perangkat ini bekerja sama untuk memastikan kualitas udara di ruang bersih mikroelektronik mencapai kelas kebersihan yang disyaratkan.
Langkah-langkah penting dan poin teknis rekayasa ruang bersih mikroelektronik:
1. Perencanaan desain: sesuai dengan proses dan persyaratan produksi, tentukan kelas ruang bersih, area, tata letak, dll. Pada saat yang sama, rute aliran personel, material dan peralatan, serta desain pemurnian udara, AC dan sistem pencahayaan harus dipertimbangkan.
2. Struktur bangunan: harus memiliki kinerja penyegelan dan insulasi termal yang baik untuk mengurangi dampak lingkungan eksternal pada interior. Pada saat yang sama, perlu menggunakan bahan yang tidak mudah menimbulkan debu dan listrik statis, seperti baja tahan karat dan paduan aluminium.
3. Sistem pemurnian udara: ini adalah bagian inti dari rekayasa ruang bersih mikroelektronika. Biasanya filter, kipas angin, saluran udara, dan perangkat berefisiensi tinggi lainnya digunakan untuk menghilangkan debu, bakteri, virus, dan polutan lainnya di udara dalam ruangan, sehingga udara mencapai tingkat kebersihan tertentu.
4. Sistem pengkondisian udara: harus mampu mengontrol suhu dalam ruangan, kelembaban dan perbedaan tekanan untuk memenuhi persyaratan proses produksi. Pada saat yang sama, peralatan dan teknologi AC yang hemat energi dan ramah lingkungan harus diterapkan untuk mengurangi biaya pengoperasian.
5. Pengendalian elektrostatik: proses produksi mikroelektronika rawan menghasilkan listrik statis yang akan mempengaruhi kualitas produk. Oleh karena itu, perlu dilakukan tindakan eliminasi statis, seperti penggunaan penghilang statis, pemasangan lantai antistatis, dll.
6. Pengendalian kebisingan: Kebisingan akan mempengaruhi efisiensi kerja dan kesehatan personel, sehingga perlu dilakukan tindakan pengendalian kebisingan, seperti penggunaan bahan insulasi suara, pemasangan knalpot, dll.
7. Sistem pencahayaan: harus mampu memberikan kecerahan dan keseragaman yang cukup untuk memenuhi persyaratan proses produksi. Pada saat yang sama, peralatan dan teknologi penerangan yang hemat energi dan ramah lingkungan harus diterapkan untuk mengurangi biaya pengoperasian.
8. Manajemen personel dan material: masuk dan keluarnya personel dan material harus dikelola dan dikendalikan secara ketat untuk mengurangi masuknya polutan eksternal. Pada saat yang sama, personel harus dilatih untuk meningkatkan kesadaran kebersihan dan keterampilan operasional.
9. Pengujian dan verifikasi: setelah ruang bersih dibangun, harus dilakukan pengujian dan verifikasi untuk memastikan kinerja ruang bersih memenuhi persyaratan desain, yang meliputi kebersihan udara, suhu, kelembapan, perbedaan tekanan, listrik statis, dll.
Kesimpulannya, rekayasa ruang bersih mikroelektronik adalah sistem kompleks yang memerlukan banyak faktor. Hanya dengan mengadopsi teknologi dan peralatan canggih, ruang bersih yang memenuhi persyaratan dapat dibangun.
Tag populer: ruang bersih mikroelektronik, pemasok, produsen, pabrik ruang bersih mikroelektronik Cina, Lemari kamar bersih, Pintu kamar bersih, Penyaringan Kamar Bersih, Lingkungan Produktif Kamar Bersih, Bersih lingkungan yang menghemat waktu, Dinding kamar bersih
