Membersihkan kamar ke dalam wilayah tertentu partikel debu ruang di udara, bahaya gas, bakteri berbahaya, seperti pembuangan polusi, dan suhu dalam ruangan, kebersihan, tekanan di dalam mencekik, kecepatan siklon tersebar, kebisingan, getaran dan pencahayaan peralatan, kontrol statis di area spesifikasi tertentu, dan memberikan yang diformulasikan khusus oleh ruang. Artinya, tidak peduli bagaimana lingkungan udara eksternal berubah, udara dapat menjaga kebersihan, suhu dan kelembaban, tekanan, dan karakteristik kinerja lainnya dari standar yang ditetapkan sebelumnya.
Fungsi utama dari ruang pembersih adalah untuk mengontrol hari-hari derajat pembersihan dan suhu serta kelembaban udara di mana produk perusahaan (seperti chip silikon, dll.) terpapar, sehingga produk perusahaan dapat diproduksi di kawasan regional yang terpelihara dengan baik. ruang lingkungan, yang dikenal sebagai ruang pembersih. Menurut konvensi, tingkat pemurnian bersih terutama ditentukan menurut jumlah partikel di setiap meter kubik udara yang diameternya melebihi spesifikasi pembagian. Dengan kata lain, kebersihan bukanlah tidak adanya sedikit debu, tetapi dalam jumlah unit yang sangat sedikit. Tentu saja norma
Sesuai dengan partikel standar debu dibandingkan dengan debu kering sekarang menjadi mikro kecil mikronya, tetapi untuk struktur optik elektronik, bahkan sedikit debu adalah efek samping yang sangat besar, sehingga dalam produk perusahaan struktur optik elektronik
Di masa lalu, kebersihan adalah norma yang diperlukan.
Kuantitas debu kering kecil dengan ukuran partikel A 0.3 mikron dikendalikan di bawah 3500 per meter kubik, yang mencapai tingkat A dari kode bersih internasional. Spesifikasi bersih saat ini yang digunakan dalam produksi tingkat chip dan pemrosesan debu adalah kelas kering A yang tinggi, dan standar tinggi seperti itu terutama digunakan
- Beberapa chip kelas tinggi diproduksi. Kuantitas debu halus 0.5um dan di bawahnya dikontrol secara ketat dalam 1000 per meter kubik, yang umumnya dikenal sebagai kelas seribu di industri.
Status Cleanroom diklasifikasikan ke dalam tiga jenis berikut:
Kondisi udara: tarif bersih (peralatan) yang telah dibangun dan siap dioperasikan. Ini memiliki semua jaminan dan fungsi yang terkait dengan tingkat kebersihan. Namun, tidak ada operator dan tidak ada peralatan produksi dalam tarif bersih.
Statis: semua jenis kamar bersih berfungsi penuh, peralatan terpasang dengan benar, dan ruang bersih (peralatan) dapat digunakan atau digunakan sesuai dengan Pengaturan, tetapi tidak ada operasi di kamar bersih.
Dinamis: Membersihkan kamar dalam penggunaan normal, fungsi kamar bersih lengkap, dengan peralatan dan personel, jika perlu, dapat bekerja secara normal.